Đằng sau mỗi thành phần được sản xuất chính xác và thiết bị được trang bị hoàn hảo là một quá trình quan trọng nhưng thường bị bỏ qua: đo kích thước.Độ chính xác của các phép đo này phụ thuộc chủ yếu vào các công nghệ hiệu chuẩn chiều dàiHôm nay, chúng ta sẽ xem xét các yêu cầu kỹ thuật cho hiệu chuẩn chiều dài trong JCSS của Nhật Bản (Hệ thống dịch vụ hiệu chuẩn Nhật Bản),với trọng tâm đặc biệt về can thiệp quang học.
JCSS đại diện cho hệ thống dịch vụ hiệu chuẩn của Nhật Bản, hoạt động theo tiêu chuẩn ISO / IEC 17025 để công nhận các phòng thí nghiệm hiệu chuẩn.Hướng dẫn yêu cầu kỹ thuật của nó phục vụ như một hướng dẫn chi tiết toàn diện:
- Các thiết bị nào cần hiệu chuẩn
- Phương pháp hiệu chuẩn thích hợp
- Các tiêu chuẩn tham chiếu bắt buộc
- Các quy trình đảm bảo độ tin cậy kết quả
Các hướng dẫn chủ yếu đề cập đến các dụng cụ đo chiều dài một chiều, bao gồm:
- Các khối gauge:Các vật liệu khác nhau (thép cao cacbon cao crôm, cacbon crôm, cacbon tungsten, zirconia, silicon nitride, thạch anh nóng chảy)
- Các thiết bị hiệu chuẩn chiều dài:Thiết bị bề mặt phẳng được hiệu chuẩn bằng can thiệp quang học
Phạm vi hiệu chuẩn trải dài từ 0,1 mm đến 1000 mm, mặc dù mở rộng được phép với đánh giá không chắc chắn thích hợp.
Hệ thống tham chiếu nhiều tiêu chuẩn quốc tế và Nhật Bản bao gồm ISO / IEC 17025, JIS Z 8103 (chữ thuật đo lường) và JIS B 7506 (định hướng khối đo lường).
- Các tài liệu tham khảo chính:Máy laser He-Ne ổn định bằng i-ốt ở 633nm
- Tiêu chuẩn làm việc:Máy laser ổn định tần số thực tế hoặc các khối tham chiếu interferometer
Các phòng thí nghiệm hiệu chuẩn yêu cầu:
- Máy đo can thiệp quang học (máy đo lõi)
- Các nguồn ánh sáng laser ổn định cao
- Hệ thống đo nhiệt độ chính xác
- Thiết bị điều chỉnh chỉ số khúc xạ
- Thiết bị giám sát môi trường (barometer, hygrometer)
Điều kiện môi trường nghiêm ngặt đảm bảo độ chính xác đo lường:
- Nhiệt độ:20°C ± 1°C (hoặc tốt hơn)
- Độ ẩm:50% ± 20% RH
- Phân biệt rung động:Quan trọng đối với các phép đo can thiệp
- Sự sạch sẽ:Các biện pháp kiểm soát hạt
- Sự ổn định bước sóng laser
- Hiệu ứng khúc xạ khí quyển
- Các hệ số giãn nở nhiệt
- Chuyển pha ở bề mặt phản xạ
- Khả năng lặp lại của probe
- Hiệu ứng độ nghiêng bề mặt
- Sự tương đồng sắp xếp
JCSS yêu cầu kiểm tra trình độ thường xuyên thông qua:
- So sánh giữa các phòng thí nghiệm
- Kiểm tra điểm đo trên các phạm vi hiệu chuẩn
- Giám sát liên tục về sự ổn định tiêu chuẩn tham chiếu
Chứng chỉ hiệu chuẩn phải xác định rõ ràng:
- Phân lệch so với kích thước danh nghĩa
- Bề mặt tiếp xúc đo
- Điều kiện nhiệt độ tham chiếu
- Các thông số môi trường trong quá trình hiệu chuẩn
- Các giá trị không chắc chắn mở rộng (thường là với độ tin cậy 95%, k=2)
Khung toàn diện này đảm bảo các dịch vụ hiệu chuẩn của Nhật Bản duy trì độ chính xác đẳng cấp thế giới,hỗ trợ sản xuất tiên tiến và kiểm soát chất lượng trong các ngành công nghiệp đòi hỏi độ chính xác ở cấp độ micrometer.